北京積體電路制造設備突破 縮小與國際差距

希望這新聞不會太舊。

via:中央社

上海中芯國際公司與北方微電子公司、中科信公司日前在北京分別簽訂刻蝕機和離子注入機的採購合約,代表中國國產一百奈米制造裝備初步實現產業化。據報導,中國積體電路制造核心裝備技術原本與國際先進水準相差十五到二十年,這兩種設備研制成功後,差距將縮小到五年左右。「北京晨報」今天報導,北京市工業促進局電子資訊產業發展處長梁勝表示,「一個城市的普通家庭有約一百顆晶片(晶圓)。」沒有晶圓,民眾不能看電視、不能用手機、不能聽MP3,生活將完全變樣。他指出,晶圓制造過程相當複雜,「生產一顆小晶片共有四百多道工序,對精度要求極高,比如刻在晶片上的小槽,只有頭髮絲的千分之一那麼細。」制造環節中,門檻最高和影響成本最多的就是晶圓制造裝備,刻蝕機和離子注入機兩種設備更是生產線上的關鍵。梁勝說,中國所有八吋及以上水平的晶圓生產線,過去全部必須依靠國外,中國建立一條晶圓生產線,幾乎八成的投資用于購買設備,加上國際間一直嚴格控制出口中國這類設備,即使將設備賣給中國,也是將昂貴的制造成本一並轉移過來。他表示,「如果有了自己生產的裝備,我們的成本要便宜三分之一。」梁勝指出,「這個重大的創新打破國際壟斷,降低了晶片成本,能直接令老百姓受惠,在市場上買到更便宜的電視機、手機、電腦等等。」據報導,二零零二年十一月,中國科技部同意北京市政府啟動「一百納米高密度等離子刻蝕機與大角度離子注入機」項目,北京電子控股公司聯合北京清華大學、北京大學、中國科學院、七星集團等股東組建北方微電子公司,承擔等離子刻蝕機的研發任務。一百奈米指的是矽材上刻的小槽寬度,從過去的零點二五微米、零點一八微米到零點一三微米,直到現在的奈米。這個數值越小,意謂晶圓的精確度和集成度越高。報導說,目前中國的八吋晶圓產品已產業化,十二吋晶圓的刻蝕機和離子注入機基本上已具備上線測試條件,預計年底就可進入生產線在線測試。

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